金十數據11月4日訊,TechInsights表示,每臺ASML0.33NAEUV光刻機的功耗就已經達到了1170kW,而0.55NA(HighNA)光刻機的功耗預計將進一步增長至1400kW。
機構:預計ASML High NA EUV光刻機功耗約1400千瓦
金十數據11月4日訊,TechInsights表示,每臺ASML0.33NAEUV光刻機的功耗就已經達到了1170kW,而0.55NA(HighNA)光刻機的功耗預計將進一步增長至1400kW。