機構：預計ASML High NA EUV光刻機功耗約1400千瓦

金十數據11月4日訊，TechInsights表示，每臺ASML0.33NAEUV光刻機的功耗就已經達到了1170kW，而0.55NA（HighNA）光刻機的功耗預計將進一步增長至1400kW。