機構:預計ASML High NA EUV光刻機功耗約1400千瓦

金十數據11月4日訊,TechInsights表示,每臺ASML0.33NAEUV光刻機的功耗就已經達到了1170kW,而0.55NA(HighNA)光刻機的功耗預計將進一步增長至1400kW。

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