Lam Research и JSR/Inpria объединяют усилия в области материалов для следующего поколения полупроводников и EUV-вычерчивания

В значительном шаге по решению растущих требований к производству чипов для ИИ и высокопроизводительных вычислительных систем два лидера полупроводниковой отрасли формализовали неэксклюзивное соглашение о кросс-лицензировании и сотрудничестве. Партнерство объединяет Lam Research Corp. (Nasdaq: LRCX), известную своими возможностями в области оборудования для производства пластин, с JSR Corporation и её дочерней компанией Inpria Corporation, поставщиком передовых решений на основе металлических оксидов для фоторазисторов.

Мост между материаловедением и инновациями в оборудовании

Стратегический альянс направлен на гармонизацию экспертизы JSR/Inpria в области полупроводниковых материалов с компетенциями Lam в технологиях осаждения, травления и паттернинга. Эта комбинация предназначена для решения одной из наиболее актуальных задач полупроводниковой индустрии: обеспечение масштабируемости производства при переходе к приложениям искусственного интеллекта.

Решения Inpria Corporation на основе металлических оксидов представляют собой важный прогресс для систем следующего поколения литографии. В сочетании с запатентованным оборудованием Lam Aether для сухого фоторазитора — прорывной технологией, упрощающей изготовление сложных схем — это партнерство может значительно снизить сложность и стоимость производства для компаний, разрабатывающих передовые процессоры.

Техническая дорожная карта и области инноваций

Сотрудничество включает несколько передовых инициатив по разработке:

Развитие EUV-литографии: совместная работа по паттернингу с низкой и высокой NA в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне, используя формулы фоторазисторов Inpria и экспертизу Lam в паттернинге. EUV с высокой NA представляет собой критический путь для масштабирования полупроводниковых узлов за пределы текущих возможностей.

Материалы для точной обработки: исследования и разработки металлических оксидных резистов и специальных пленок, предназначенных для паттернинга следующего поколения, что необходимо для производства плотно упакованных схем, требуемых в ИИ-обработке и оборудовании дата-центров.

Передовые решения по осаждению и травлению: с учетом недавнего приобретения Yamanaka Hutech Corporation компанией JSR, компании исследуют новые прекурсоры и процессы для атомарного осаждения и травления. Это расширяет рамки инноваций за пределы паттернинга, охватывая фундаментальные материалы и процессы, определяющие современное производство чипов.

Стратегические последствия и рыночный контекст

Lam Research, входящая в список Fortune 500 и базирующаяся в Фремонте, Калифорния, сохраняет статус ключевого поставщика для производителей полупроводников по всему миру. Оборудование компании сейчас используется практически во всех современных чипах. Расширяя партнерства с материалами специалистами, такими как JSR/Inpria, Lam укрепляет свою экосистему для решения все более сложных задач производства.

JSR Corporation работает как комплексный поставщик технологических материалов, его подразделение Electronic Materials поставляет фоторазисторы, технологические материалы и специализированные решения для производства логических и оперативных чипов. Приобретение Inpria в 2021 году вывело JSR на передний край разработки металлических оксидных резистов для EUV — способность, которая становится все более ценной по мере продвижения индустрии к более высоким разрешениям паттернинга.

Урегулирование судебных разбирательств

В рамках соглашения Inpria и Lam решили отказаться от всех незавершенных требований по делу Inpria v. Lam Research (Case 1:22cv01359) в Окружном суде Делавэра, а также по всем связанным процедурам межпартнерского пересмотра. Это решение свидетельствует о переходе от конкуренции к совместным инновациям.

Мнения лидеров отрасли

“Объединив экспертизу материалов JSR и Inpria с сильными сторонами Lam в области осаждения, травления и сухих резисторов, мы стремимся ускорить решения для EUV-литографии — включая высокую NA — и поддержать индустрию в эффективном масштабировании для новой эпохи ИИ”, — заявил Тору Кимура, старший сотрудник JSR Corporation, подчеркнув приверженность компании развитию передовых материалов для сложных технологических дорожных карт.

Вахид Вахеди, главный технолог и директор по устойчивому развитию Lam Research, отметил, что партнерство дополняет уже существующие возможности Lam в области атомарного осаждения и травления, и позволяет ускорить инновации в критический момент, когда сложность полупроводников продолжает расти.

Это партнерство отражает более широкую тенденцию в отрасли к глубокому техническому сотрудничеству, поскольку производители чипов и поставщики оборудования работают вместе, чтобы преодолеть фундаментальные физические и материаловедческие вызовы, связанные с масштабированием производства полупроводников для вычислительных систем, управляемых искусственным интеллектом.