恒運昌：компанія завжди прагне стати платформою, яка надає комплексні рішення для основних компонентів у сфері плазмових технологій

证券日报网3月17日讯 ，恒运昌 в接受调研者提问时表示，乐卫平先生于1995年7月至2002年2月就职于湖南省桃源县邮电局电信设备厂，任技术员、工程师；2003年3月至2006年5月，就职于AE（深圳），任测试技术员、工程师；2006年6月至2014年4月，就职于AE（上海），任产品应用工程师与销售高级经理；2014年5月至2021年9月，就职于公司，任执行董事、总经理；2021年9月至今，任公司董事长、总经理。公司于2013年成立，早期以引进真空装备核心零部件业务为主，自研产品上处于起步探索期。2018年公司进入快速发展期，公司自研产品在半导体领域的应用取得重大突破，实现了半导体级等离子体射频电源系统的技术突破，研制出Bestda系列等离子体射频电源系统实现设备商验证并批量出货。2023年公司进入持续创新期，公司自研产品已成为业务主导。此外，公司持续为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。同时，公司在此阶段突破了先进制程的技术难题，研发出Aspen/Basalt系列等离子体射频电源系统，完成了产品代际升级，应用的设备工艺阶段也从薄膜沉积扩展至刻蚀的批量应用；同时，Torrent系列远程等离子体源和Ginkgo系列等离子体直流电源等产品也陆续完成开发，实现部分小批量交付，进一步丰富了公司的产品种类。在此阶段，公司还突破了等离子体电弧检测与控制、等离子体偏置电压的脉冲控制等先进技术，公司进入快速上升通道，业务规模持续扩大。公司始终致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。

（文章来源：证券日报）

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