これは有料のプレスリリースです。お問い合わせはプレスリリース配信元に直接ご連絡ください。初のインラインストキャスティクス制御システムをフルファブ自動化フローに統合======================================================================================ビジネスワイヤ2026年2月24日（火）午前12:30 GMT+9 4分で読む**_FractiliaのFAME 300、トップ5半導体メーカーの生産に採用_**テキサス州オースティン、2026年2月23日 --（ビジネスワイヤ）-- 高精度ストキャスティクスメトロロジーと制御の業界リーダーであるFractiliaは、本日、FAME 300™システムがトップ5の半導体デバイスメーカーの生産ラインに採用されたことを発表しました。これは、インラインストキャスティクス制御ソリューションが最新の製造環境に完全に統合された初の事例です。Fractiliaは、FAME 300が先進ノードの製造ラインにおいて完全自動化され、ホストと完全に連携したインラインメトロロジーシステムとして展開されたことを確認しました。顧客は現在、Fractiliaのストキャスティクスラインモニター™を200以上のメトロロジーステップで使用し、自動化された統計的工程管理（SPC）チャートの生成、リアルタイムのロット判定、結果の複数の機能グループのエンジニアに公開を行っています。すべて人手を介さずに。従来のオフラインストキャスティクスメジャーと異なり、遅延診断の洞察を提供するのに対し、インラインストキャスティクス制御はリアルタイムで自動化された生産判断を可能にし、先進ノードの歩留まりに直接影響します。この生産マイルストーンは、長らく研究開発の課題と考えられてきたストキャスティクスが、今や先進ノードの中心的な生産課題となったことを示しています。これは、Fractiliaが「ストキャスティクスギャップ」と呼ぶ、開発でパターン化できるものと大量生産で許容できる歩留まりの間の拡大する乖離に直面しているためです。FractiliaのFILM™ベースの測定を工場標準の自動化システムに組み込むことで、顧客はライン幅粗さ（LWR）、ラインエッジ粗さ（LER）、局所的臨界寸法均一性（LCDU）などのリアルタイムストキャスティクスメトリクスの必要性を検証しました。「この展開は半導体業界にとって大きな前進です」と、FractiliaのCTO、Chris Mackは述べています。「初めて、ファブは正確なストキャスティクスメジャーを用いて自動化されたリアルタイムの生産判断を行えるようになりました。顧客がFAME 300をホストシステムに直接統合できたことは、インラインストキャスティクス制御が単なる可能性ではなく、実用的で不可欠な先進ノード製造の要素であることを示しています。」ストキャスティクス：パターン形成誤差の主要な原因に特徴サイズが縮小し、EUVや高NA EUVリソグラフィーが根本的な光子や分子のランダム性を劇的に高める中、ストキャスティクスの変動は先進ノードのパターン形成誤差予算の半数以上を占めるようになっています。従来はこれらの効果は特徴サイズに比べて小さかったのですが、現在では歩留まりに直結し、数十億ドル規模の製造投資を危険にさらしています。ストーリー続くメーカーは、従来のCD-SEM測定や決定論的工程制御手法だけでは、先進パターン形成に内在するランダム性を捉えきれないことをますます認識しています。Fractiliaのストキャスティクスラインモニター™は、1990年代に発生した欠陥検出やオーバーレイライン監視の転換に次ぐ、次の大きな転換点として浮上しています。FAME 300は、Fractiliaの特許技術FILM™と完全自動化、ホスト/MES連携を組み合わせることで、ファブに次のような機能を提供します：* 正確で偏りのないストキャスティクスメジャー：生産CD-SEMや他のSEMツールの画像を使用* ファブのMESやSPCシステムへの自動取り込み* リアルタイムのロット判定：歩留まりリスクの軽減* 高スループットの無人データフロー：ファブ全体のSEM画像を測定可能統合の容易さとメトロロジーの広範な有用性顧客のIT部門は、FAME 300のホストシステムへの統合が「予想以上に簡単だった」と述べており、通常のファブ自動化プロジェクトよりもはるかに少ないエンジニアリング労力で済んだとしています。ストキャスティクスメトリクスに加え、顧客は選択された層の重要なCDや距離測定のためにFractiliaの測定も開始しており、FILM™エンジンのストキャスティクス以外の幅広い用途を示しています。Fractiliaの測定は、主要な寸法測定にますます頼られるようになっており、システムの価値を複数の工程モジュールで強化しています。ストキャスティクス制御の必要性業界全体で、多くのデバイスメーカーが最近、研究開発と生産の両方でFractiliaの製品の使用を増やしています。多くの組織が、先進ノードにおけるストキャスティクスの重要性に関する論文をFractiliaと共同で発表しています。Fractiliaは、2026年2月22日から26日にサンノゼで開催されるSPIE先端リソグラフィー＋パターニング会議で、3つの異なる顧客とともに4つの論文を発表します。FractiliaについてFractiliaは、先進半導体製造向けストキャスティクスメトロロジーと制御ソリューションの世界的リーダーです。同社の特許技術FILM™は、先進ノードのパターン形成誤差の最大原因であるストキャスティクスの高精度測定を可能にし、歩留まり、性能、生産性の向上に寄与します。Fractiliaのソリューションには、工程開発とエンジニアリング分析用のMetroLER™や、ファブの立ち上げと生産向けのFAME™シリーズがあります。本社はテキサス州オースティンにあり、20以上の特許を保有しています。詳細はwww.fractilia.comをご覧ください。ビジネスワイヤのソースバージョンを見る：連絡先メディア問い合わせ：ミシェル・クランシー・フラーケイエン・グローバルmichelle.clancy@cayennecom.com+1 503.702.4732利用規約とプライバシーポリシープライバシーダッシュボード詳細情報
初のインラインストキャスティクス制御システムがフルファブ自動化フローに統合されました
これは有料のプレスリリースです。お問い合わせはプレスリリース配信元に直接ご連絡ください。
初のインラインストキャスティクス制御システムをフルファブ自動化フローに統合
ビジネスワイヤ
2026年2月24日（火）午前12:30 GMT+9 4分で読む
FractiliaのFAME 300、トップ5半導体メーカーの生産に採用
テキサス州オースティン、2026年2月23日 --（ビジネスワイヤ）-- 高精度ストキャスティクスメトロロジーと制御の業界リーダーであるFractiliaは、本日、FAME 300™システムがトップ5の半導体デバイスメーカーの生産ラインに採用されたことを発表しました。これは、インラインストキャスティクス制御ソリューションが最新の製造環境に完全に統合された初の事例です。
Fractiliaは、FAME 300が先進ノードの製造ラインにおいて完全自動化され、ホストと完全に連携したインラインメトロロジーシステムとして展開されたことを確認しました。顧客は現在、Fractiliaのストキャスティクスラインモニター™を200以上のメトロロジーステップで使用し、自動化された統計的工程管理（SPC）チャートの生成、リアルタイムのロット判定、結果の複数の機能グループのエンジニアに公開を行っています。すべて人手を介さずに。
従来のオフラインストキャスティクスメジャーと異なり、遅延診断の洞察を提供するのに対し、インラインストキャスティクス制御はリアルタイムで自動化された生産判断を可能にし、先進ノードの歩留まりに直接影響します。
この生産マイルストーンは、長らく研究開発の課題と考えられてきたストキャスティクスが、今や先進ノードの中心的な生産課題となったことを示しています。これは、Fractiliaが「ストキャスティクスギャップ」と呼ぶ、開発でパターン化できるものと大量生産で許容できる歩留まりの間の拡大する乖離に直面しているためです。
FractiliaのFILM™ベースの測定を工場標準の自動化システムに組み込むことで、顧客はライン幅粗さ（LWR）、ラインエッジ粗さ（LER）、局所的臨界寸法均一性（LCDU）などのリアルタイムストキャスティクスメトリクスの必要性を検証しました。
「この展開は半導体業界にとって大きな前進です」と、FractiliaのCTO、Chris Mackは述べています。「初めて、ファブは正確なストキャスティクスメジャーを用いて自動化されたリアルタイムの生産判断を行えるようになりました。顧客がFAME 300をホストシステムに直接統合できたことは、インラインストキャスティクス制御が単なる可能性ではなく、実用的で不可欠な先進ノード製造の要素であることを示しています。」
ストキャスティクス：パターン形成誤差の主要な原因に 特徴サイズが縮小し、EUVや高NA EUVリソグラフィーが根本的な光子や分子のランダム性を劇的に高める中、ストキャスティクスの変動は先進ノードのパターン形成誤差予算の半数以上を占めるようになっています。従来はこれらの効果は特徴サイズに比べて小さかったのですが、現在では歩留まりに直結し、数十億ドル規模の製造投資を危険にさらしています。
ストーリー続く
メーカーは、従来のCD-SEM測定や決定論的工程制御手法だけでは、先進パターン形成に内在するランダム性を捉えきれないことをますます認識しています。Fractiliaのストキャスティクスラインモニター™は、1990年代に発生した欠陥検出やオーバーレイライン監視の転換に次ぐ、次の大きな転換点として浮上しています。
FAME 300は、Fractiliaの特許技術FILM™と完全自動化、ホスト/MES連携を組み合わせることで、ファブに次のような機能を提供します：
統合の容易さとメトロロジーの広範な有用性 顧客のIT部門は、FAME 300のホストシステムへの統合が「予想以上に簡単だった」と述べており、通常のファブ自動化プロジェクトよりもはるかに少ないエンジニアリング労力で済んだとしています。
ストキャスティクスメトリクスに加え、顧客は選択された層の重要なCDや距離測定のためにFractiliaの測定も開始しており、FILM™エンジンのストキャスティクス以外の幅広い用途を示しています。Fractiliaの測定は、主要な寸法測定にますます頼られるようになっており、システムの価値を複数の工程モジュールで強化しています。
ストキャスティクス制御の必要性 業界全体で、多くのデバイスメーカーが最近、研究開発と生産の両方でFractiliaの製品の使用を増やしています。多くの組織が、先進ノードにおけるストキャスティクスの重要性に関する論文をFractiliaと共同で発表しています。Fractiliaは、2026年2月22日から26日にサンノゼで開催されるSPIE先端リソグラフィー＋パターニング会議で、3つの異なる顧客とともに4つの論文を発表します。
Fractiliaについて Fractiliaは、先進半導体製造向けストキャスティクスメトロロジーと制御ソリューションの世界的リーダーです。同社の特許技術FILM™は、先進ノードのパターン形成誤差の最大原因であるストキャスティクスの高精度測定を可能にし、歩留まり、性能、生産性の向上に寄与します。Fractiliaのソリューションには、工程開発とエンジニアリング分析用のMetroLER™や、ファブの立ち上げと生産向けのFAME™シリーズがあります。本社はテキサス州オースティンにあり、20以上の特許を保有しています。詳細はwww.fractilia.comをご覧ください。
ビジネスワイヤのソースバージョンを見る：
連絡先 メディア問い合わせ： ミシェル・クランシー・フラー ケイエン・グローバル michelle.clancy@cayennecom.com +1 503.702.4732
利用規約とプライバシーポリシー プライバシーダッシュボード 詳細情報