産業特殊ガスのリーダー、10%以上上昇

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AIに聞く――ウォルタ—ガスはどのようにして技術依存から自律的なイノベーションへ進むのか?

文丨泰羅

4月3日、工業ガス関連のコンセプト株が強い値動きを見せ、金宏ガス、昊華科技、和遠ガスなどが相次いで上昇し、その中でもウォルタ—ガスの上昇率は10%を超えました。

工業ガスは中国の産業の「血液」と呼ばれており、中国企業の中に、高純度の特殊ガスにおける中核技術を掌握して、この産業チェーンの大手になっているところがあります。それがウォルタ—ガスです。

ウォルタ—ガスが生産するリソグラフィ用ガスの国内シェアは6割に達しており、中国で唯一、世界でわずか4社として、リソグラフィ装置の大手であるASML、GIGAPHOTONから認証を受けた中国企業です。

同社は長江ストレージ、中芯国際(SMIC)、華虹宏力、合肥長鑫など、国内のほぼすべてのトップクラスの半導体企業のサプライチェーンに参入し、8インチ以上の集積回路製造メーカーに対しては、超90%のカバー率を実現しています。さらにそれだけでなく、インテル、德州仪器、TSMC、三星、英飛凌など、十数社の国際的な大手企業の産業チェーンにも参画しており、外国の同業他社と肩を並べ、まさに激しい尖鋭的な競争を実現しています。

「性格が運命を決める」と言われますが、ウォルタ—ガスが今日のような成果を得られたのは、この白髪の老人が大きく関係しています。彼はウォルタ—ガスの董事長、石平湘です。

1976年、佛山市二酸化炭素研究所でマネージャーを務めていた石平湘は、上から派遣された視察員と一緒に工場を見学していました。

工場はひっそりとしていました。突然、ドンと大きな音がして、作業員が続けざまに怒鳴りました。「この値段はあまりに常軌を逸している。5Nの純度で、1キロなのに90米ドルで売るのか。」電子特殊ガスの純度はNで表されます。たとえば99.999%なら5Nで、9の数がそのままNになります。9が多いほど、純度は高くなります。

部屋の中の「象」が姿を現しました。当時、「ガス」が足りないことは、多くの工場を悩ませる大きな課題の1つでした。主に輸入に依存しており、価格が特に高いだけでなく、相手に頭を下げて買ってもらう必要までありました。90米ドルは、あるエンジニアの数か月分の給料です。ある専門家がその場で冗談めかして言いました。「中国の化学工業の人間は、肉食ではなく草食なのか?」

石平湘は強い衝撃を受けました。彼は、中国が発展するには必ず技術で先行すべきだと考えました。中国企業は草食で満足していてはだめで、肉を食べるべきです。45歳のとき、彼は先頭に立って广东华南特种气体研究所を創立し、しばらくの間、苦しい試行錯誤を重ねた末に、チームは最初のガス製品――氩加二氧化碳(アルゴン+二酸化炭素)――を開発しました。石平湘はここから「争气(“気”をつかむ)」の道を歩み始めました。

21世紀に入っても、電子特殊ガスは依然として「ボトルネック」状態でした。そしてそれは、価値連鎖の中で、ウエハーに次ぐ項目です。

たとえばリソグラフィ用ガスの純度は、直接的にチップの性能、歩留まり、コストに影響します。28nm、14nmから7nm、5nmへと、より先進的な製造プロセスになるほど、純度への要求はさらに高まります。

石平湘は、さらに一歩――もう一度「争気」しようと決め、電子特殊ガス分野へ進出し、人力・物資を投入して自主研究開発を行うことにしました。特記すべきなのは、特殊ガスの種類が非常に多いこと、そして小ロット・高頻度での供給が必要という特徴があることです。さらに、電子特殊ガスで品質問題が起きた場合、同じロットの製品だけでなく、集積回路の製造ライン全体が廃棄になる可能性があり、顧客はサプライヤーの選定を非常に慎重に行うため、容易にサプライヤーを切り替えません。

いかに石平湘が大きなプレッシャーを背負っていたかが想像できます。幸いにもウォルタ—ガスは、独自の電子系特殊ガスの研究開発に成功し、50種類以上の製品で国産代替を実現しました。14nmおよび7nmのラインに向けて供給を行い、さらに一部は5nmプロセスにも用いられています。加えて、ウォルタ—ガスの製品は、生物医療、光伏新材など、さまざまな産業にも広く利用されています。

実際には、特殊ガスの用途は幅広いものの、市場規模はずっと大きくありません。2025年にはまだ500億を下回る程度であり、さらに利益率も高くないため、多くの企業は精力を投じて研究に取り組みたがりません。しかし石平湘はそれを気にしません。利益は薄くても、それは中国の産業の「血液」が自分たち自身の手に握られているかどうかに関わるからです。30年以上にわたり、ウォルタ—ガスは近100件の認可付き特許を取得し、複数の国家標準の策定にも参画しており、製品は超50の国・地域へ輸出されています。

当初の目標はすでに達成していても、石平湘はさらに、乙硅烷、锗烷などの高価値な特殊ガス製品について、研究開発から量産へ至る挑戦を続けています。

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