Shingo Micro装 acquired a patent related to suction cup potential monitoring. It monitors suction cup potential, eliminates charge accumulation, and prevents electrostatic damage.

2023年3月21日の報道によると、国家知識産権局の情報によれば、合肥芯碁微電子装備股份有限公司は「無マスクテンプレート直写露光装置用の吸盤電位監視システムおよび直写露光装置」と名付けられた特許を出願し、特許公告番号はCN224020147U、公告日を2026年3月20日としている。出願番号はCN202520419485.1、出願公開日は2026年3月20日、出願日は2025年3月11日、発明者は葛星雨、朱会敏、曹桂林、卢小齐、孙文彪、特許代理機関は北京景聞知的財産権代理有限公司、代理人は赵巧从、分類番号はG03F7/20。

特許の要約によると、本実用新案は、無マスクテンプレート直写露光装置用の吸盤電位監視システムおよび直写露光装置を公開しており、以下の構成からなる：吸盤装置、電位センサー、スイッチコンポーネント、イオン発生器、コントローラー。コントローラーは、吸引真空指令または破真空指令を送信してスイッチコンポーネントの通断状態を制御し、風道の気流方向を制御することで、吸盤装置を吸引真空状態または破真空状態にし、板材の吸着または分離機能を実現する。さらに、電位センサーから送信される電位差を受信し、吸盤装置が破真空状態に入り電位差があらかじめ記録された較正値を超えた場合、イオン発生器に放電開始の指令を出し、イオン発生器を起動させて放電させる。これにより、風道内の破真空気流にイオンを注入し、摩擦による吸盤装置と板材間の電荷蓄積を効果的に除去し、静電気による電子機器の損傷を防止できる。

芯碁微装は2015年6月30日に設立され、2021年4月1日に上海証券取引所に上場した。本社および事務所は安徽省合肥市に位置し、国内の微細ナノ直写光刻装置分野のリーディング企業であり、コア事業は光刻装置とそのサービスで、技術と全産業チェーンの優位性を持つ。

芯碁微装の申万業種は「機械設備-専用設備-その他専用設備」であり、PCB概念、年次報告の予想増加、OLEDなどのセクターに関わる。主な事業は、微細ナノ直写光刻を技術の核とした直接成像装置および直写光刻装置の研究開発、生産、販売、保守サービスであり、製品は多領域の光刻工程をカバーしている。

2025年、芯碁微装の営業収入は14.08億元に達し、業界第1位であり、業界平均値および中央値と同水準を維持している。主な事業別の売上高は、PCBシリーズが10.8億元（構成比76.69％）、半導体関連シリーズが2.33億元（構成比16.58％）、リースおよびその他が8739.3万元（構成比6.21％）、その他（補足）が738.1万元（構成比0.52％）。純利益は2.9億元で、こちらも業界第1位であり、平均値と中央値と一致している。

合肥芯碁微電子装備股份有限公司の最近の特許状況は以下の通り：

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