韓国メディア:アスメールはウエハー対ウエハーのハイブリッドボンディング装置を開発中であり、製造サイクルの大幅な短縮が期待されている

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金色财经報道、4月29日、韓国メディアThe Elecによると、韓国仁荷大学の教授Joo Seung-hwanは、ソウルで開催された先端パッケージング技術会議で、特許分析を通じて、オランダの露光装置大手ASMLが、フラッグシップの露光プラットフォームTwinscanの技術蓄積を利用して、ウエハー対ウエハー(W2W)ハイブリッドボンディング装置を開発している可能性を明らかにした。Twinscanプラットフォームは、二つのウエハー台の設計により製造効率を大幅に向上させており、この技術をW2Wハイブリッドボンディング装置に移用すれば、二つのウエハーを直接結合する生産サイクルを大幅に短縮できる見込みだ。この最新動向は、ASMLが露光分野での支配力をパッケージング段階にまで拡大しようとしていることを示している。(東新社)

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