الضجة حول ركائز الزجاج تتصاعد

بينما يركز معظم الناس على TGV، فإن التمليح هو أصعب خطوة في بناء ركائز الزجاج وهو الذي يعيق الإنتاج حالياً
تم حل مشكلة TGV بشكل أساسي: الليزر مؤهل، والعملية تحت السيطرة
قال لي $LPK المدير التنفيذي ذلك مباشرة
ما لم يُحل بالكامل هو ملء تلك الثقوب بالنحاس مع الحفاظ على السلامة الهيكلية
━━━━━━━━━━━━━━━
إليك كيف تعمل العملية
بمجرد حفر الثقوب، باستخدام تقنية TGV مثل $LPK LIDE، لا تزال ثقوب فارغة في الزجاج
التمليح هو مجموعة الخطوات التي تحولها إلى وصلات نحاسية موصلة وتطلي مسار النحاس حولها
ينقسم إلى ثلاث مشكلات:
→ الملء الخالي من الفراغات. عليك ملء ثقب عميق وضيّق بالنحاس وترك لا فجوات بداخله.
→ التصاق النحاس بالزجاج. النحاس لا يلتصق بشكل طبيعي بالزجاج الأملس. بدون كيمياء سطحية مناسبة، يرتفع المعدن عن السطح. الركائز العضوية لا تواجه هذه المشكلة؛ الزجاج يفعل.
→ البقاء على قيد الحياة أثناء التكرار الحراري. يتمدد النحاس حوالي خمس مرات أكثر من الزجاج عند التسخين، لذلك كل دورة طاقة تضغط على الزجاج حول كل via ويمكن أن تكسره. يمكن لركيزة تجتاز الاختبار الكهربائي أن تفشل بعد بضع آلاف من دورات الحرارة
━━━━━━━━━━━━━━━
الآن إلى الشركات التي تحل هذه المشكلة:
→ Atotech (جزء من $MKSI). كيميائيات VitroCoat و CupraTech تعتبر مرجعًا لكل من التصاق النحاس بالزجاج والملء الخالي من الفراغات
→ Okuno Chemical (خاص). إضافات TOP LUCINA GCS مصممة خصيصًا للملء الكامل الخالي من الفراغات للثقوب ذات القلب الزجاجي
→ Koto Electric (خاص). عمليتها GWC المملوكة تطلي النحاس مباشرة على الزجاج دون تخشين السطح
→ TRUMPF (خاص). قبل ملء الثقب، تحتاج جدرانه الجانبية إلى طبقة نحاسية رقيقة ومتواصلة من الأعلى إلى الأسفل، وطرق الترسيب العادية تتجاهل الثقوب العميقة. تقوم تقنية HiPIMS من TRUMPF بتأيين النحاس بحيث يمكن دفعه إلى القاع، بسرعة ترسيب مضاعفة مقارنة بالمنافسين
→ SCHMID ($SHMD). تغطي InfinityLine عملية الطلاء على اللوحات، وخطوات المعالجة الرطبة، وCMP. على مستوى الطلاء، تنافس $AMAT و $LRCX. على CMP، تتنافس مع $AMAT و Ebara، اللتين تملكان أكثر من 90% من السوق
→ صانعو الزجاج: AGC، Corning، SCHOTT، و NEG. هذه الشركات مركزية للمشكلة الثالثة. يقومون بضبط تمدد الزجاج نحو السيليكون وتقويته من خلال تبادل الأيونات، وهو ما يسمح للثقب المملوء أن يتحمل التكرار الحراري
━━━━━━━━━━━━━━━
بينما كان التمليح هو الخطوة الأصعب، وما زال، قال لي $LPK المدير التنفيذي إنه الآن إلى حد كبير قد تم حله، ولهذا نرى تسريع الجدول الزمني من قبل الشركتين اللتين تحققان أفضل معدلات إنتاج، ويمكننا أن نفترض أن ذلك يشير إلى Absolics و SEMCO