中國持有的晶圓廠在 2012 年至 2026 年初期間購入了 343 台浸沒式 DUV 系統,其中約 270 台為
$ASML NXT:1980 系列掃描機,具備多重圖案化 7 奈米級生產所需的套刻精度
採購激增在 2024–2025 年大幅加速,中國晶圓廠購入了 179 台 NXT:1980 級系統,金額超過 130 億美元,相當於 ASML 2024 年全球 ArFi 出貨量的約 70%,以及 2025 年的 68%
科技與國政中心認為,這暴露了出口管制中的漏洞:為成熟製程節點購入的設備,之後可能被重新調配至先進邏輯或記憶體生產。該中心呼籲全面禁止向中國出口浸沒式 DUV,並加強對維修服務與替換零件的限制
荷蘭目前的管制涵蓋 NXT:1980 級及更高級別的設備,但個別許可證仍可能獲得核准
ASML 的銷售數據證實了更廣泛的採購週期:中國占 2024 年系統銷售的 41%,2025 年占 33%,之後在 2026 年第一季降至 19%,2026 年第二季降至 14%