国产浸没式 DUV 光刻机啟動小批量生產,今年計劃交付約 5 台

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火星財經消息,據《The Information》援引知情人士報導,一家未公開名稱的上海國資背景公司已開始生產國產浸沒式 DUV 光刻機,計劃今年製造約 5 台,到 2027 年提升至約 20 台。首批設備將交付 中芯國際、華虹半導體 和長鑫科技 等主要晶圓廠,但設備仍需經過精度、穩定性及產線相容性驗證,該過程可能持續數月,甚至更久。目前該設備多數部件來自國內,但部分關鍵零件仍依賴日本,性能和製造品質落後於 ASML。作為對比,ASML 僅在 2025 年即交付約 131 台浸沒式 DUV 光刻機。國產設備雖已實現從原型測試到小批量生產的跨越,但距離大規模替代 ASML 仍有明顯差距。此前路透社報導指出,美國正考慮進一步收緊對華光刻設備出口及在華維修服務限制;此次國產設備交付恰逢這一背景。
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