中國傳量產自研 DUV 曝光機,會改寫全球半導體格局?摩根大通:市場反應過度

市場傳出中國已量產自主研發的浸潤式 DUV 曝光機,帶動 ASML 股價單日重挫逾 8%。不過摩根大通分析師認為這是反應過度,ASML 在技術與量產規模上仍維持明顯領先。
(背景補充:韓股又熔斷、日經跳水 4%、台股大跌 1800 點失守 42k,權值股大逃殺)

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  • 一家四年新創,做出了什麼?
  • 5 台,還是 130 台?
  • 小摩喊「反應過度」

市場近日傳出中國已開始量產自主研發的浸潤式深紫外光(DUV)曝光機,訊息一出,ASML 在荷蘭掛牌股價 27 日重挫超過 8%,帶動整條半導體機台供應鏈重挫。

DUV 機台用於把電路圖案曝光至矽晶圓,在美國出口管制之下,中國晶片廠目前無法取得最先進的光刻工具,只能進口較舊型機台;一旦真能自主量產,等於在美國設下的封鎖線上,鑿出一道缺口。

一家四年新創,做出了什麼?

這波訊息源自《The Information》,指中國一家具有官方背景、未具名的企業已開始生產 DUV 機台,預計今年交付 5 台,明年產能提升至 20 台。儘管相關技術在效能和可靠性方面仍待進一步測試,但長期而言或挑戰 ASML 在中國市場的地位。

動區查證後,這家企業指的應該是 2022 年成立的上海宇量昇科技,總部位於上海浦東新區,國資控股,註冊資本人民幣 10 億元,股權由深圳市新凱來技術與創科微(上海)技術各持 50%,並與華為、上海微電子及清華大學展開技術合作。

首批機台今年料將交付中芯國際、華虹半導體、長鑫存儲(CXMT)三家中國晶圓廠,其中中芯國際已在測試首台國產浸潤式 DUV。技術規格上,這款機台鎖定 28 奈米單次曝光;若搭配多重曝光,理論上可做到 7 奈米甚至 5 奈米。所謂多重曝光,簡單來說就是,同一層電路分成好幾次曝光疊出來,步驟變多,成本與良率的代價也更高,能做到不等於做得起。

極紫外光(EUV)機台是目前業界公認、唯一能生產最先進製程晶片的曝光機台,全球僅 ASML 一家能造,且早已被列入對中禁售名單。DUV 雖然是舊一代技術,卻是中國晶片廠在禁令之下唯一還能碰到的最先進光刻工具;而隨著美國考慮進一步收緊對中 DUV 機台的出口與維修服務限制,北京加速自研機台,等於是提前替供應鏈斷炊做準備,把命脈掌握在自己手裡,而不是賭美方會不會鬆手。

5 台,還是 130 台?

多家外媒報導評估,中國機台在產出速度、對準精度與長期可靠度上,仍落後業界頂尖機台一個世代,規格落差甚至被估算為十餘年。機台大部分零件來自中國供應商,但關鍵零件仍依賴日本,本地零件延遲交貨,也拖慢了今年的生產進度。中國同步自研極紫外光機台,但仍停留在原型機階段,距離量產還有相當長的路要走。

ASML 公司數據顯示,其一年可生產約 130 台 DUV 浸潤式曝光機,規劃 2027 年產能再提高 30%、2028 年視需求再增加 30%,以因應 AI 基礎建設帶來的需求成長。上海宇量昇今年目標 5 台、明年 20 台,產能差距超過 26 倍。

小摩喊「反應過度」

摩根大通分析師 Sandeep Deshpande 認為,這波股價下殺是反應過度。

他指出,中國多年來一直生產較低階的曝光機台,但至今未對 ASML 在前段晶圓製造市場的市占率造成實質影響;ASML 在技術能力與量產規模上仍維持明顯領先,這波賣壓偏向情緒驅動,而非基本面惡化。不過他也坦言,中國半導體自主化的趨勢日益穩固,長期恐提高 ASML 中國營收面臨的風險。

同一天,美光、SK 海力士 ADR、SanDisk 等記憶體股同步下殺,今日台股一度大跌逾 1,800 點、韓股再次熔斷,一點點風吹草動都會加劇市場恐慌情緒。

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