PANews 7 月 27 日消息，據 The Information 報導，上海一家國資背景公司已開始小批量生產國產浸沒式 DUV 光刻機，今年計畫出貨約 5 台，2027 年增至約 20 台。首批設備將交付中芯國際、華虹半導體和長鑫科技，晶圓廠需驗證精度、穩定性及與既有產線的銜接，流程可能持續數月甚至更久。報導稱，該設備多數部件已國產化，但部分關鍵零組件仍依賴日本，整體效能和製造品質仍落後於 ASML，而 ASML 在 2025 年單年交付的浸沒式 DUV 光刻機約為 131 台，國產設備距離大規模替代仍有差距。
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國產浸沒式 DUV 光刻機開始小批量生產，今年首批量產 5 台
PANews 7 月 27 日消息，據 The Information 報導，上海一家國資背景公司已開始小批量生產國產浸沒式 DUV 光刻機，今年計畫出貨約 5 台，2027 年增至約 20 台。首批設備將交付中芯國際、華虹半導體和長鑫科技，晶圓廠需驗證精度、穩定性及與既有產線的銜接，流程可能持續數月甚至更久。報導稱，該設備多數部件已國產化，但部分關鍵零組件仍依賴日本，整體效能和製造品質仍落後於 ASML，而 ASML 在 2025 年單年交付的浸沒式 DUV 光刻機約為 131 台，國產設備距離大規模替代仍有差距。