高純度CO2採購警報：半導體超臨界清洗製程

據26日的報導，先進半導體製程中使用的高純度二氧化碳（CO2）採購已出現警訊。
原因在於煉油及石化廠的運轉率降低，導致原料CO2的產生量大幅下降。半導體製造商與供應商通常各持有約兩週的庫存，合計約一個月的用量。但最近業界認為庫存已低於一個月。
據業界了解，三星電子每月使用約1,800至2,000噸的高純度CO2，而SK海力士每月使用約600至700噸。
三星電子和SK海力士尚未出現生產中斷。然而，庫存緩衝空間持續縮小，因此知情人士解釋，兩家公司正在加強採購力度。即使提高價格，也很難獲得更多供應量。
一名氣體業界官員表示：「沒有原料，我們就無法供應客戶所需的量」，並補充說「短期內根本無法增加產量」。
高純度CO2大量用於半導體的超臨界（超臨界，supercritical）清洗製程。超臨界是指物質超過其臨界溫度與臨界壓力時出現的物理狀態。液態CO2進入超臨界狀態後，液體與氣體的區別消失，同時具備兩者的特性。其密度接近液體，能輕易溶解晶圓上的殘留物與污染物，同時具有氣體般的特性，可深入微細圖案清除雜質。先進製程半導體的圖案間距狹窄且段差大，因此需進行超臨界清洗製程。
CO2原料是煉油、石化工業及氫氣生產等過程的副產品。由於美國、伊朗及中東局勢導致原油供需不穩定，國內石化廠運轉率隨之下降，這被視為對CO2原料短缺造成重大影響。
據報導，液化CO2的價格較年初上漲約20%。業界認為供應吃緊的情況很可能持續到年底。
國內主要的高純度CO2供應商包括泰慶化學、順道化學、東光化學及SK Air Plus。其中泰慶化學被認為是領導廠商。
一名半導體材料專家表示：「繼氦氣、無水氫氟酸和PGMEA之後，現在連CO2也出現問題，中東原油風險一再擴散至半導體材料領域」，並指出「這意味著材料供應鏈與煉油及石化的副產品緊密交織在一起」。