ASML và Carl Zeiss công bố công nghệ chip Hyper-NA trong một bài báo được bình duyệt, dự kiến ra mắt trong khoảng 10 năm nữa
Theo một bài báo được bình duyệt đăng trên Tạp chí Tạo mẫu Vi mô/Na-nô, Vật liệu và Đo lường vào Tháng 10, ASML và đối tác quang học Carl Zeiss cho biết Hyper NA—thế hệ kế nhiệm của thiết bị sản xuất chip tiên tiến nhất của ASML—có thể sẵn sàng trong khoảng 10 năm nữa. Hệ thống Hyper NA sẽ tạo ra các chi tiết mạch nhỏ hơn, xuống tới 5 nanomet—tức nhỏ hơn hơn một phần ba so với thiết bị High NA EUV hiện tại của ASML. Bài báo lưu ý rằng Carl Zeiss đã phát triển các gương có độ chính xác cần thiết
ASML-3,56%
GateNews·10-10 03:01
