中资晶圆厂在 2012 年至 2026 年初期间购入了 343 台浸没式 DUV 系统,其中包括约 270 台
$ASML NXT:1980 系列扫描器,其套刻精度足以满足多重图案化 7 纳米级生产的需求
采购激增在 2024—2025 年大幅加速,中国晶圆厂购入了 179 台 NXT:1980 级系统,金额超过 130 亿美元,相当于 ASML 2024 年全球 ArFi 出货量的约 70%,以及 2025 年的 68%
技术与治国理政中心认为,这暴露出出口管制中的一个漏洞:为成熟制程购买的设备之后可能被重新用于先进逻辑或存储器生产。该中心呼吁全面禁止向中国出口浸没式 DUV,并加强对维修服务和替换零部件的限制
荷兰目前的管制范围涵盖 NXT:1980 级及以上产品,但仍可批准个别许可证
ASML 的销售数据证实了更广泛的采购周期:中国占系统销售额的比例在 2024 年为 41%,2025 年为 33%,随后在 2026 年第一季度降至 19%,并在 2026 年第二季度降至 14%