除了以上6家之外,还有:


1️⃣Kokusai Electric:TYO6525
批量成膜/热处理,3D NAND 与 DRAM 的关键薄膜环节
其主力产品是批量成膜设备和膜质改善设备,在成膜工艺设备领域具世界前列市占。
在 3D NAND 中,堆栈层数增加意味着在同一批晶圆上重复进行多次成膜和热处理,Kokusai 的批量 LP‑CVD/ALD 设备适合高层数 NAND 的高效生产。公司披露中国市场已经占到营收约 40%,且主要是存储、逻辑和功率(28nm 及以上)产能扩建需求。
2️⃣Onto Innovation $ONTO:
检测/计量+软件,在存储与先进封装的良率工具
3️⃣Ichor Systems $ICHR:
气体与化学品输送子系统,刻蚀/沉积工具的“血管”。
其产品包括气体供给系统、化学品供给模块、流体输送系统、阀件、连接器以及高精度机械子组件等,主要客户是前道设备整机厂和 IDMs。
4️⃣Ultra Clean Holdings $UCTT:
关键子系统+零部件清洗服务,贯穿多家设备商的供给链
其业务分为 Products 和 Services 两大板块:
-Products:设计制造气体输送系统、化学品输送模块、流体输送系统、精密机器人系统、过程模块及高阶装配件等,用于刻蚀、沉积等整机工具。
-Services:提供机台部件的超高纯清洗、再涂覆、寿命延长和微污染分析服务,面向晶圆厂和设备厂的 WFE 市场。
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