高纯度二氧化碳采购警报：半导体超临界清洗工艺面临供应危机

据26日报道，先进半导体工艺中使用的高纯度二氧化碳（CO2）采购已出现预警信号。
原因是炼油和石化工厂的开工率下降，导致原料CO2的生成量锐减。半导体制造商和供应商通常各持有约两周的库存，合计约一个月。然而，近期业内认为库存已降至一个月以下。
据业界透露，三星电子每月使用约1800至2000吨高纯度二氧化碳，SK海力士每月使用约600至700吨。
三星电子和SK海力士的生产尚未出现中断。但知情人士解释称，库存缓冲空间持续缩小，因此各公司正加紧采购。即便提价，也难以获得额外供应量。
一家气体行业相关人士表示：“没有原料，我们就无法按客户需求供应，”并补充道，“短期内根本不可能增产。”
高纯度CO2大量用于半导体的超临界（超臨界，supercritical）清洗工艺。超临界是指物质超过其临界温度和临界压力时呈现的物理状态。当液态CO2进入超临界状态后，液态与气态的界限消失，同时具备两种状态的特性。其密度与液体相当，易于溶解晶圆上的残留物和污染物；同时具有气体特性，能深入精细图案缝隙清除碎屑。先进工艺半导体图案间距窄、台阶高度大，因此需采用超临界清洗工艺。
CO2原料是炼油、石化和制氢等过程的副产品。美国、伊朗及中东局势引发的原油供需不稳定，以及因此导致的国内石化工厂开工率下降，被认为是CO2原料短缺的主要影响因素。
据报道，液态CO2的价格较年初已上涨约20%。业界认为供应紧张状况极有可能持续到年底。
国内主要高纯度CO2供应商包括泰京化学、顺道化学、东光化学和SK Air Plus。其中泰京化学被认为是龙头企业。
一位半导体材料专家表示：“继氦气、无水氢氟酸和PGMEA之后，现在又轮到CO2，中东原油风险正反复蔓延至半导体材料领域，”并指出“这意味着材料供应链与炼油及石化的副产品深度交织。”