Alarme d'approvisionnement en CO2 de haute pureté pour les processus de nettoyage supercritique des semi-conducteurs


Des signes d'alerte sont apparus dans l'approvisionnement en dioxyde de carbone (CO2) de haute pureté utilisé dans les processus avancés de semi-conducteurs, selon des rapports du 26.
La cause est une forte baisse du volume de CO2 brut généré, en raison des taux d'utilisation plus faibles dans les raffineries de pétrole et les usines pétrochimiques. Les fabricants et fournisseurs de semi-conducteurs détiennent généralement chacun environ deux semaines de stock, pour un total combiné d'environ un mois. Récemment, cependant, l'industrie estime que les stocks sont tombés en dessous d'un mois.
Selon l'industrie, Samsung Electronics utiliserait environ 1 800 à 2 000 tonnes de CO2 de haute pureté par mois, tandis que SK Hynix en utilise environ 600 à 700 tonnes par mois.
Les perturbations de production chez Samsung Electronics et SK Hynix ne se sont pas encore matérialisées. Cependant, la marge de stock continue de se réduire, et pour cette raison, les entreprises intensifient leurs efforts d'approvisionnement, a expliqué une source proche du dossier. Même en augmentant les prix, il est difficile d'obtenir des volumes supplémentaires.
Un responsable de l'industrie gazière a déclaré : « Sans matière première, nous ne pouvons pas fournir autant que les clients le souhaitent », ajoutant qu'« il n'y a physiquement aucun moyen d'augmenter la production à court terme. »
Le CO2 de haute pureté est utilisé en grandes quantités dans les processus de nettoyage supercritique (超臨界, supercritique) des semi-conducteurs. Le terme supercritique fait référence à l'état physique qui apparaît lorsqu'une substance dépasse sa température et sa pression critiques. Lorsque le CO2 liquide entre dans l'état supercritique, la distinction entre liquide et gaz disparaît et il prend les propriétés des deux états simultanément. Avec une densité comparable à celle d'un liquide, il dissout facilement les résidus et contaminants sur la plaquette, tandis que sa nature gazeuse lui permet d'atteindre profondément les motifs fins pour éliminer les débris. Les semi-conducteurs de processus avancés ont un espacement de motifs étroit et des hauteurs de marche importantes, ils subissent donc le processus de nettoyage supercritique.
Le CO2 brut est un sous-produit de processus tels que le raffinage du pétrole, la pétrochimie et la production d'hydrogène. L'instabilité de l'offre et de la demande de pétrole brut découlant de la situation impliquant les États-Unis, l'Iran et le Moyen-Orient, et la baisse qui en résulte des taux d'utilisation des usines pétrochimiques nationales, sont considérées comme ayant eu un impact majeur sur la pénurie de CO2 brut.
Le prix du CO2 liquéfié aurait augmenté d'environ 20 % par rapport au début de l'année. L'industrie considère qu'il est très probable que la crise de l'approvisionnement se poursuive jusqu'à la fin de l'année.
Les principaux fournisseurs nationaux de CO2 de haute pureté cités incluent Taekyung Chemical, Sundo Chemical, Dongkwang Chemical et SK Air Plus. Taekyung Chemical est connu comme le leader.
Un expert en matériaux pour semi-conducteurs a déclaré : « Après l'hélium, l'acide fluorhydrique anhydre et le PGMEA, maintenant le CO2 aussi, le risque lié au pétrole brut du Moyen-Orient se répercute à plusieurs reprises dans le domaine des matériaux pour semi-conducteurs », notant que « cela signifie que la chaîne d'approvisionnement en matériaux est profondément liée aux sous-produits du raffinage du pétrole et de la pétrochimie. »
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