Lam Research Corp 価格

Lam Research Corporationは、半導体処理に不可欠な装置の大手サプライヤーであり、その設計、生産、販売、修理、継続的なメンテナンスを包括しています。これらの高度なシステムは、集積回路の製造に不可欠です。同社の広範な製品カタログには、さまざまな成膜技術が含まれています。タングステンメタライゼーションには、コンフォーマル膜を堆積するALTUSシステムを提供しています。SABRE製品は、銅配線遷移に重要で、銅ダマシン製造を可能にする電気化学堆積に優れています。SOLAは紫外線熱処理を膜処理に利用し、VECTORはプラズマエンハンスト化学気相堆積（CVD）と原子層堆積（ALD）のソリューションを提供します。さらに、SPEEDは高密度プラズマCVD製品でギャップフィル用途に対応し、Strikerは誘電体膜の単一ウェーハ原子層堆積用に設計されています。成膜以外にも、Lam Researchは包括的なエッチングツール群を提供しています。Flexは誘電体エッチ用途向け、Kiyoは導体エッチプロセス対応、Syndionはシリコン貫通ビアエッチングに特化、Versysメタル製品は金属エッチプロセスに使用されます。同社の提供品は、ベベル洗浄によりダイの歩留まりを向上させるCoronusのような専門的なソリューションにも及びます。さまざまなウェーハ洗浄要件に対して、Lam ResearchはDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズなどの複数の製品ラインを供給しています。さらに、Metryx質量測定システムは、半導体ウェーハ製造における精密なインライン質量測定機能を提供します。Lam Researchはグローバルな半導体産業にサービスを提供し、米国、中国、欧州、日本、韓国、東南アジア、台湾、その他の国際市場に技術とサービスを配布しています。1980年に設立され、本社はカリフォルニア州フリーモントにあります。