ASML y Carl Zeiss revelan la tecnología Hyper-NA para chips en un artículo revisado por pares, cuya llegada está prevista dentro de unos 10 años.
Según un artículo revisado por pares publicado en la edición de octubre de Journal of Micro/Nanopatterning, Materials and Metrology, ASML y su socio óptico Carl Zeiss anunciaron que Hyper NA, la próxima generación de equipos de fabricación de chips avanzados de ASML, podría estar lista en aproximadamente 10 años. El sistema Hyper NA permitirá producir estructuras de circuitos de hasta 5 nanómetros, lo que supone una reducción de más de un tercio con respecto a los equipos actuales de EUV High NA
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GateNews·10-10 03:01
