Lam Research Corp價格

Lam Research Corporation 是半導體製程所需重要設備的知名供應商，其業務涵蓋設備的設計、生產、銷售、維修及持續維護。這些精密系統是製造積體電路的基礎。該公司廣泛的產品目錄涵蓋多種沉積技術。針對鎢金屬化製程，他們提供能沉積共形薄膜的 ALTUS 系統。SABRE 產品在電化學沉積方面表現卓越，這對於銅互連轉換至關重要，並可實現銅鑲嵌製造。SOLA 採用紫外線熱處理進行薄膜處理，而 VECTOR 則提供電漿增強化學氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）解決方案。此外，SPEED 以其高密度電漿 CVD 產品滿足間隙填充應用需求，而 Striker 則專為單晶圓介電薄膜原子層沉積所設計。除了沉積技術，Lam Research 還提供全面的蝕刻工具系列。Flex 專為介電蝕刻應用設計，Kiyo 用於導體蝕刻製程，Syndion 專精於矽穿孔蝕刻，而 Versys 金屬產品則用於金屬蝕刻製程。該公司的產品還包括專門解決方案，例如透過斜面清潔提升晶粒良率的 Coronus。針對各種晶圓清潔需求，Lam Research 提供多條產品線，包括 Da Vinci、DV-Prime、EOS 和 SP 系列。此外，Metryx 質量計量系統為半導體晶圓製造提供精確的在線質量測量能力。Lam Research 服務全球半導體產業，將其技術和服務分銷至美國、中國、歐洲、日本、韓國、東南亞、台灣及其他國際市場。該公司成立於1980年，公司總部設在加州費利蒙。